场发射扫描电镜和普通扫描电镜到底有啥不一样？

场发射扫描电镜（FE-SEM）和普通扫描电镜（通常指二次电子扫描电镜，BSE-SEM或SE-SEM）在原理、性能和应用上存在显著差异。主要区别在于其电子源和探测器的工作方式。

首先，电子源不同。FE-SEM采用场发射电子枪，其工作原理是利用强电场从金属尖端发射电子，这些电子具有非常高的动能和更小的工作距离。相比之下，普通扫描电镜通常使用热发射或冷发射电子枪，电子能量较低，工作距离相对较大。这使得FE-SEM能够产生更高分辨率和更高质量的图像。

其次，探测器和工作方式也有所不同。FE-SEM通常配备高灵敏度的探测器，如二次电子探测器或背散射电子探测器，能够捕捉到更细微的表面细节。普通扫描电镜的探测器灵敏度相对较低，成像质量可能不如FE-SEM精细。此外，FE-SEM在样品表面形貌的观察上具有更高的分辨率，能够显示更微小的特征。

最后，应用领域也有所侧重。FE-SEM因其高分辨率和高灵敏度，常用于材料科学、纳米技术、生物医学等领域的研究，需要观察非常微小的结构或细节。普通扫描电镜则广泛应用于工业和质量控制领域，用于观察较大的样品表面形貌和成分分析。

总之，FE-SEM和普通扫描电镜在电子源、探测器和应用领域上存在显著差异，FE-SEM在分辨率和灵敏度上更具优势，适用于更精细的样品观察和研究。